číslo produktu:156433
rezervujThe Physics of Submicron Lithography
Rok vydania: 1992
Vydavateľ: Springer
Kniha je momentálne nedostupná.
V prípade dlhodobého záujmu si urobte REZERVÁCIU a my vám odložíme žiadaný kus.
O knihe:
This monograph details the physics behind the methods of generating submicron forms for electron beam, ion beam, optical, and X-ray lithography. Topics are discussed at the level of analytical theory, allowing a study of scientific issues in the field without frequent reference to a general physics text.
Zaradenie do kategórii:
Podrobnosti o titule (výrobné údaje):
Väzba: tvrdá